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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。
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_____Crc

新虫 (小有名气)

[交流] 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。 已有12人参与

做镀膜实验，机械泵抽到1PA左右开分子泵，刚打开分子泵电源，按了start，还没来得及开高阀就响警报了，显示的OL2，好像是过流保护的意思。。。。。。我感觉我的步骤没问题啊，求大神帮我想想原因~
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1楼 2014-07-30 21:11:10
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

metaliium

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
分子泵要抽到10的-2次Pa才打开的好不好
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4楼2014-08-02 00:08:16
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
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引用回帖:
10楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 16:05:16
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...

机械泵粗抽~~~抽到1pa时 分子泵加机械泵 一起抽。
然后到-6torr左右时就可以开离子泵~~~~应该能到-9torr
然后我的是钛升华泵，就能到-10torr

离子泵和钛升华泵都是安装在腔室里的~~~~~
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11楼2014-08-03 15:38:42
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普通回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)
最好找厂家问问
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2楼2014-07-30 22:45:28
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I@ZHONGDA

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
真空度不够，分子泵受不了
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一切皆空！
3楼2014-08-01 23:50:31
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碎碎莫念

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
要抽低一点再开分子泵

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创意源于生活
5楼2014-08-02 02:19:25
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likeweid

金虫 (正式写手)
预抽阀没关吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2014-08-02 06:46:29
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b3478518

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我觉得是压力不够，我见他们抽气先用水泵，，，抽到十几个千帕，然后用油泵抽到几百个帕，然后用精密泵抽到10的负二帕，然后用分子泵抽到10的负6，，，你的压力太好了，不够低。分子泵受不了

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爱她
7楼2014-08-02 09:13:43
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1pa应该没什么问题 我着急的时候30pa的时候就开分子泵了

我觉得最主要是要先查查OL2具体是什么意思吧~~~
会不会是叶片的问题 ~~
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8楼2014-08-03 14:40:57
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beyondamv

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by b3478518 at 2014-08-02 09:13:43
我觉得是压力不够，我见他们抽气先用水泵，，，抽到十几个千帕，然后用油泵抽到几百个帕，然后用精密泵抽到10的负二帕，然后用分子泵抽到10的负6，，，你的压力太好了，不够低。分子泵受不了
...

请教，四种泵如何与体系了解并工作的！

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9楼2014-08-03 15:04:53
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beyondamv

木虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 15:04:53
请教，四种泵如何与体系了解并工作的！
...

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10楼2014-08-03 15:05:16
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