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分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。 已有12人参与
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| 做镀膜实验,机械泵抽到1PA左右开分子泵,刚打开分子泵电源,按了start,还没来得及开高阀就响警报了,显示的OL2,好像是过流保护的意思。。。。。。我感觉我的步骤没问题啊,求大神帮我想想原因~ |
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metaliium
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