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_____Crc

新虫 (小有名气)

[交流] 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。 已有12人参与

做镀膜实验,机械泵抽到1PA左右开分子泵,刚打开分子泵电源,按了start,还没来得及开高阀就响警报了,显示的OL2,好像是过流保护的意思。。。。。。我感觉我的步骤没问题啊,求大神帮我想想原因~
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metaliium

银虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
分子泵要抽到10的-2次Pa才打开的好不好
4楼2014-08-02 00:08:16
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小雨南

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 16:05:16
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...

机械泵粗抽~~~抽到1pa时 分子泵加机械泵 一起抽。
然后到-6torr左右时就可以开离子泵~~~~应该能到-9torr
然后我的是钛升华泵,就能到-10torr

离子泵和钛升华泵都是安装在腔室里的~~~~~
11楼2014-08-03 15:38:42
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普通回帖

cord

铁杆木虫 (著名写手)


最好找厂家问问
2楼2014-07-30 22:45:28
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I@ZHONGDA

金虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
真空度不够,分子泵受不了
一切皆空!
3楼2014-08-01 23:50:31
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碎碎莫念

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
要抽低一点再开分子泵

[ 发自小木虫客户端 ]
创意源于生活
5楼2014-08-02 02:19:25
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likeweid

金虫 (正式写手)

预抽阀没关吧

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2014-08-02 06:46:29
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b3478518

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我觉得是压力不够,我见他们抽气先用水泵,,,抽到十几个千帕,然后用油泵抽到几百个帕,然后用精密泵抽到10的负二帕,然后用分子泵抽到10的负6,,,你的压力太好了,不够低。分子泵受不了

[ 发自小木虫客户端 ]
爱她
7楼2014-08-02 09:13:43
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小雨南

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
1pa应该没什么问题 我着急的时候30pa的时候就开分子泵了

我觉得最主要是要先查查OL2具体是什么意思吧~~~
会不会是叶片的问题 ~~
8楼2014-08-03 14:40:57
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beyondamv

木虫 (著名写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by b3478518 at 2014-08-02 09:13:43
我觉得是压力不够,我见他们抽气先用水泵,,,抽到十几个千帕,然后用油泵抽到几百个帕,然后用精密泵抽到10的负二帕,然后用分子泵抽到10的负6,,,你的压力太好了,不够低。分子泵受不了
...

请教,四种泵如何与体系了解并工作的!

[ 发自小木虫客户端 ]
9楼2014-08-03 15:04:53
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beyondamv

木虫 (著名写手)

引用回帖:
9楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 15:04:53
请教,四种泵如何与体系了解并工作的!
...

了解 改成 连接

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2014-08-03 15:05:16
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