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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。
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小雨南

银虫 (小有名气)
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引用回帖:
10楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 16:05:16
了解 改成 连接
...

机械泵粗抽~~~抽到1pa时 分子泵加机械泵 一起抽。
然后到-6torr左右时就可以开离子泵~~~~应该能到-9torr
然后我的是钛升华泵，就能到-10torr

离子泵和钛升华泵都是安装在腔室里的~~~~~
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11楼2014-08-03 15:38:42
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tfyu2000

金虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
OL明显是overload，即过载的意思，意味着分子泵电机带不动。如果分子泵及控制电路没问题，则是前级真空（机械泵）抽的真空度不够。按要求，分子泵的前级真空至少要在10^-2 mmHg，也即1Pa左右。你提到的情况，我认为一个可能是前级漏气，还有一个可能是（手动系统）忘记在开启分子泵时，关闭机械泵与系统的连接。
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12楼2014-08-03 17:10:32
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竹溪云逸

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
你确定循环水开了没有，关闭预抽阀再开分子泵。
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13楼2014-08-03 17:19:35
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beyondamv

木虫 (著名写手)
★
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11楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-03 15:38:42
机械泵粗抽~~~抽到1pa时 分子泵加机械泵 一起抽。
然后到-6torr左右时就可以开离子泵~~~~应该能到-9torr
然后我的是钛升华泵，就能到-10torr

离子泵和钛升华泵都是安装在腔室里的~~~~~...

请问，具体的泵的管线连接，还是怎么回事？能说明一下么？比如阀门，旁路，等！个人属于化工盲，所以不太清楚这方面的知识！但是，你所说的原理，我明白了，多谢！

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14楼2014-08-03 18:46:17
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pot2009

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
什么型号的泵，说明书呢？

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15楼2014-08-03 19:00:22
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小雨南

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
14楼: Originally posted by beyondamv at 2014-08-03 19:46:17
请问，具体的泵的管线连接，还是怎么回事？能说明一下么？比如阀门，旁路，等！个人属于化工盲，所以不太清楚这方面的知识！但是，你所说的原理，我明白了，多谢！
...

呃~~~~这个~~不太懂~~~~
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16楼2014-08-03 22:55:50
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_____Crc

新虫 (小有名气)
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4楼: Originally posted by metaliium at 2014-08-02 00:08:16
分子泵要抽到10的-2次Pa才打开的好不好

第一天已经抽到了-3pa，第二天一早来就先开机械泵预热1min（角阀是关了的），然后直接开分子泵（还未开高阀）就开始警报，，，，
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17楼2014-08-04 10:56:45
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_____Crc

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by I@ZHONGDA at 2014-08-01 23:50:31
真空度不够，分子泵受不了

第一天已经抽到了-3pa，第二天一早来就先开机械泵预热1min（角阀是关了的），然后直接开分子泵（还未开高阀）就开始警报，，，，
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18楼2014-08-04 10:58:01
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_____Crc

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by likeweid at 2014-08-02 06:46:29
预抽阀没关吧

第一天已经抽到了-3pa，第二天一早来就先开机械泵预热1min（角阀是关了的），然后直接开分子泵（还未开高阀）就开始警报，，，，
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19楼2014-08-04 10:59:36
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_____Crc

新虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by b3478518 at 2014-08-02 09:13:43
我觉得是压力不够，我见他们抽气先用水泵，，，抽到十几个千帕，然后用油泵抽到几百个帕，然后用精密泵抽到10的负二帕，然后用分子泵抽到10的负6，，，你的压力太好了，不够低。分子泵受不了
...

第一天已经抽到了-3pa，第二天一早来就先开机械泵预热1min（角阀是关了的），然后直接开分子泵（还未开高阀）就开始警报，，，，
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20楼2014-08-04 11:01:23
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