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_____Crc

新虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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[交流] 分子泵开电源不到2分钟就警报是怎么回事啊。。。。已有12人参与

做镀膜实验，机械泵抽到1PA左右开分子泵，刚打开分子泵电源，按了start，还没来得及开高阀就响警报了，显示的OL2，好像是过流保护的意思。。。。。。我感觉我的步骤没问题啊，求大神帮我想想原因~

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1楼 2014-07-30 21:11:10

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

beyondamv

木虫 (著名写手)

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专业: 高分子合成化学

★
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引用回帖:

11楼: Originally posted by 小雨南 at 2014-08-03 15:38:42
机械泵粗抽~~~抽到1pa时分子泵加机械泵一起抽。
然后到-6torr左右时就可以开离子泵~~~~应该能到-9torr
然后我的是钛升华泵，就能到-10torr

离子泵和钛升华泵都是安装在腔室里的~~~~~...

请问，具体的泵的管线连接，还是怎么回事？能说明一下么？比如阀门，旁路，等！个人属于化工盲，所以不太清楚这方面的知识！但是，你所说的原理，我明白了，多谢！

[ 发自小木虫客户端 ]