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小珠珠alone

新虫 (初入文坛)

[求助] 测XPS,膜厚有什么要求 已有1人参与

我要通过测XPS,测得无机氧化物薄膜的组分比,我想知道,厚度有什么要求?需要多厚,才能测XPS。急!!!
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purez

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
xiaoxususy: 金币+1, 谢谢参与 2014-07-08 20:00:18
大于穿透深度越约2nm,考虑膜的致密可能不好,5nm以上更好

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-07-08 19:05:39
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