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duola1024木虫 (小有名气)
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有做SPS的吗,请教一个很简单的问题 已有3人参与
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| 前一阵用SPS做了个pld用的靶,烧的氧化物陶瓷,之后对靶表面做元素分析(SEM的EDX)发现F元素的原子比率超过了20%。表面有C也就罢了,用的石墨模具表面肯定有渗碳,但是F是哪来的?难道是磨具是用氟化物粘结的石墨?还是做SPS的时候会用某种含F的试剂处理粉末? |
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peterflyer
木虫之王 (文学泰斗)
peterflyer
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12楼2014-07-07 12:07:22
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