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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 退火炉退火 已有3人参与

我做半导体薄膜在氮气气氛中退火，但是我做出来的样品却被氧化了，生成了其他物质。我做的方法是，先抽到一定的本底真空，然后再关闭闸板阀，通一定量的氮气，然后关闭分子泵，然后开始升温，进行退火，但是这时机械泵是开着的。这时通入的氮气是不是已经被机械泵抽走了呢？变成了真空退火呢？
具体退火的先后顺序是什么呢？是先升温还是先通气？
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2014-06-19 14:23:36
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-20 11:38:58
外面的大气环境不是1个大气压嘛（约101300Pa），那就让炉内的压力为101300+1000=102300 Pa 左右吧。真空压力表显示的数字有两种，一种是0~，表示比大气压大多少Pa；另一种是0~-0.1MPa，表示比大气压小多少Pa，极限 ...

我们的压力表示0~-0.1MPa的。我往炉子里面冲氮气，在氮气的气氛下退火，我应该充多少氮气呢？真空压力表显示为-0.05MPa的时候，是半个绝对真空么？充气体不能充到示数为0。因为示数为零的话，里外压强都一样，炉子就透气了。
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当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
7楼2014-06-20 11:58:03
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lfaitaoyao

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+2 2014-06-20 11:51:38
应该是先通气吧，气氛一直开着，然后升温不就行了
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科研啊，累啊累
2楼2014-06-19 14:32:57
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丿花落丶小兔

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
退火应该是先设置好温度 把炉子调好 然后通气体 均匀的通气哦 最后开始升温 烧

我们平时都是这样退火哒 嘿嘿 希望可以帮助到您哦

祝 一切顺利哈
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初学者请多关照~
3楼2014-06-19 15:17:46
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+8, ★★★★★最佳答案 2014-06-20 10:49:18
若真的要在氮气中退火，就先抽真空，然后通高纯氮，再次抽真空，再通高纯氮，并且保持炉内的压力比外面的环境大气压高1000Pa左右（小正压）。然后开始升温或降温，并注意通过放气或充气，保持炉内的压力始终保持在1000Pa左右。在此期间，真空泵不工作。
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4楼2014-06-19 17:19:24
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