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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 退火炉退火
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wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 退火炉退火 已有3人参与

我做半导体薄膜在氮气气氛中退火，但是我做出来的样品却被氧化了，生成了其他物质。我做的方法是，先抽到一定的本底真空，然后再关闭闸板阀，通一定量的氮气，然后关闭分子泵，然后开始升温，进行退火，但是这时机械泵是开着的。这时通入的氮气是不是已经被机械泵抽走了呢？变成了真空退火呢？
具体退火的先后顺序是什么呢？是先升温还是先通气？
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1楼 2014-06-19 14:23:36
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丿花落丶小兔

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
退火应该是先设置好温度 把炉子调好 然后通气体 均匀的通气哦 最后开始升温 烧

我们平时都是这样退火哒 嘿嘿 希望可以帮助到您哦

祝 一切顺利哈
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初学者请多关照~
3楼2014-06-19 15:17:46
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lfaitaoyao

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+2 2014-06-20 11:51:38
应该是先通气吧，气氛一直开着，然后升温不就行了
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科研啊，累啊累
2楼2014-06-19 14:32:57
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+8, ★★★★★最佳答案 2014-06-20 10:49:18
若真的要在氮气中退火，就先抽真空，然后通高纯氮，再次抽真空，再通高纯氮，并且保持炉内的压力比外面的环境大气压高1000Pa左右（小正压）。然后开始升温或降温，并注意通过放气或充气，保持炉内的压力始终保持在1000Pa左右。在此期间，真空泵不工作。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-06-19 17:19:24
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wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-19 17:19:24
若真的要在氮气中退火，就先抽真空，然后通高纯氮，再次抽真空，再通高纯氮，并且保持炉内的压力比外面的环境大气压高1000Pa左右（小正压）。然后开始升温或降温，并注意通过放气或充气，保持炉内的压力始终保持在1 ...

还有个问题，你说的比外面环境高1000帕（小于正压）我没理解。是真空计的气压是1000帕这样么？我们炉子上面有个真空压力表，这个表上面是有负值。是这个负值在1000Pa么？
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5楼2014-06-20 10:51:22
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