应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 原子、分子&光学 » 退火炉退火
91/1返回列表
查看: 1232  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

wjy_421

新虫 (小有名气)

[求助] 退火炉退火 已有3人参与

我做半导体薄膜在氮气气氛中退火，但是我做出来的样品却被氧化了，生成了其他物质。我做的方法是，先抽到一定的本底真空，然后再关闭闸板阀，通一定量的氮气，然后关闭分子泵，然后开始升温，进行退火，但是这时机械泵是开着的。这时通入的氮气是不是已经被机械泵抽走了呢？变成了真空退火呢？
具体退火的先后顺序是什么呢？是先升温还是先通气？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
1楼 2014-06-19 14:23:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lfaitaoyao

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+2 2014-06-20 11:51:38
应该是先通气吧，气氛一直开着，然后升温不就行了
赞一下(2人) 回复此楼
科研啊，累啊累
2楼2014-06-19 14:32:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丿花落丶小兔

铁杆木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
退火应该是先设置好温度 把炉子调好 然后通气体 均匀的通气哦 最后开始升温 烧

我们平时都是这样退火哒 嘿嘿 希望可以帮助到您哦

祝 一切顺利哈
赞一下(1人) 回复此楼
初学者请多关照~
3楼2014-06-19 15:17:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wjy_421: 金币+8, ★★★★★最佳答案 2014-06-20 10:49:18
若真的要在氮气中退火，就先抽真空，然后通高纯氮，再次抽真空，再通高纯氮，并且保持炉内的压力比外面的环境大气压高1000Pa左右（小正压）。然后开始升温或降温，并注意通过放气或充气，保持炉内的压力始终保持在1000Pa左右。在此期间，真空泵不工作。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2014-06-19 17:19:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-19 17:19:24
若真的要在氮气中退火，就先抽真空，然后通高纯氮，再次抽真空，再通高纯氮，并且保持炉内的压力比外面的环境大气压高1000Pa左右（小正压）。然后开始升温或降温，并注意通过放气或充气，保持炉内的压力始终保持在1 ...

还有个问题，你说的比外面环境高1000帕（小于正压）我没理解。是真空计的气压是1000帕这样么？我们炉子上面有个真空压力表，这个表上面是有负值。是这个负值在1000Pa么？
赞一下 回复此楼
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
5楼2014-06-20 10:51:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by wjy_421 at 2014-06-20 10:51:22
还有个问题，你说的比外面环境高1000帕（小于正压）我没理解。是真空计的气压是1000帕这样么？我们炉子上面有个真空压力表，这个表上面是有负值。是这个负值在1000Pa么？...

外面的大气环境不是1个大气压嘛（约101300Pa），那就让炉内的压力为101300+1000=102300 Pa 左右吧。真空压力表显示的数字有两种，一种是0~，表示比大气压大多少Pa；另一种是0~-0.1MPa，表示比大气压小多少Pa，极限情况-0.1MPa就表示绝对真空了。
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2014-06-20 11:38:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wjy_421

新虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by peterflyer at 2014-06-20 11:38:58
外面的大气环境不是1个大气压嘛（约101300Pa），那就让炉内的压力为101300+1000=102300 Pa 左右吧。真空压力表显示的数字有两种，一种是0~，表示比大气压大多少Pa；另一种是0~-0.1MPa，表示比大气压小多少Pa，极限 ...

我们的压力表示0~-0.1MPa的。我往炉子里面冲氮气，在氮气的气氛下退火，我应该充多少氮气呢？真空压力表显示为-0.05MPa的时候，是半个绝对真空么？充气体不能充到示数为0。因为示数为零的话，里外压强都一样，炉子就透气了。
赞一下 回复此楼
当你站在高处时能让别人看清你，当你跌落低谷时,你能看清所有人
7楼2014-06-20 11:58:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chenenlin319

新虫 (小有名气)
好贴，关注。
回复此楼
8楼2014-06-20 12:17:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiao默

银虫 (初入文坛)
能不能请教一下你们的气氛退火炉是在哪里有？我做实验需要气氛退火炉，但是一直找不到。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
赞一下 回复此楼
9楼2015-01-21 18:16:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 wjy_421 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-16 06:27 by LH5NkK5Ud4bh
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:51 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:27 by LH5NkK5Ud4bh
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-16 05:03 by LH5NkK5Ud4bh
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 5/250 2026-09-16 04:51 by LH5NkK5Ud4bh
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 6/300 2026-09-16 03:35 by DgNGHc3h5tPl
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 7/350 2026-09-16 03:26 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-16 03:14 by DgNGHc3h5tPl
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 02:23 by DgNGHc3h5tPl
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-16 02:02 by DgNGHc3h5tPl
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:59 by zNcEhTcH7ihq
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 3/150 2026-09-15 20:26 by zNcEhTcH7ihq
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 5/250 2026-09-15 16:50 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-15 15:14 by CgyNCDVNhGVg
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +6 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 7/350 2026-09-15 14:22 by VMDqgnlKimtZ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:46 by C79jjtjAKjEn
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:50 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-14 23:24 by vZfe6xYu34yj
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭