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wangquan802

金虫 (小有名气)

[交流] 关于成膜速率(growth rate)的测定,求教!!急!!

如题,正在做一些CVD成膜方面的实验,要测定成膜速率对应不同温度的图表,这个其实在很多文献都有报道,但是,我想请教,成膜速率具体的测定方法是怎么做的,文献有提到轮廓测定法,是要计算成膜面积还是厚度啊?还请高手指教!
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