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新虫 (初入文坛)

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[交流] XRD表征TaOx非晶薄膜

求助各路大神：
   我想用XRD验证常温下磁控射频反应溅射的TaOx(元素比没达到Ta2O5)薄膜是非晶的，衬底是100晶面的硅片，测试后用jade做出下面的图：
http:// $\"XRD表征TaOx非晶薄膜\"$
   测试条件是小射掠射，入射角1度，扫描范围10-90度。
   我有2个问题：
   1.能否证明我溅射的TaOx薄膜是非晶的，从图上看哪个非晶包络？
   2.0-20度的强度为什么很大？是小角掠射造成的吗？

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1楼 2014-05-30 11:14:18

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