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XRD表征TaOx非晶薄膜
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求助各路大神： 我想用XRD验证常温下磁控射频反应溅射的TaOx(元素比没达到Ta2O5)薄膜是非晶的，衬底是100晶面的硅片，测试后用jade做出下面的图： http:// ![\"XRD表征TaOx非晶薄膜\"](\"https://muchongimg.xmcimg.com/data/bcs/2014/0530/w277h1664087_1401419381_795.jpg#opennewwindow\") 测试条件是小射掠射，入射角1度，扫描范围10-90度。 我有2个问题： 1.能否证明我溅射的TaOx薄膜是非晶的，从图上看哪个非晶包络？ 2.0-20度的强度为什么很大？是小角掠射造成的吗？ |
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