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guzhiqing

金虫 (正式写手)

[求助] TiN薄膜退火 已有3人参与

我在室温下沉积了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小时，薄膜爆膜请问是什么原因？应该怎么改进使薄膜不爆膜。实验具体过程：（1）升温速度大约为6度 /min；保温时间60min，随炉真空降温，过了5小时降温到190 度，然后关闭机器真空保存，第二天取。（2）先在200度保温一小时，后继续加热到500度，保温30min，薄膜还是爆膜。
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1楼 2014-05-23 10:30:41
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guilin24

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
什么方法制备的TIN?在什么衬底上？
楼主需要说明，是不是TIN薄膜与衬底的晶格失配度大？
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2楼2014-05-23 20:03:56
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chouniuccq

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可能是你的衬底材料与薄膜的粘附性不好，除去你合金的温度、升温速率，是否检查下你的衬底是否异常，比如脏污之类的
赞一下 回复此楼
3楼2014-05-24 00:37:51
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zzkejing

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2014-06-24 13:12:26
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