| 查看: 1400 | 回复: 3 | ||
guzhiqing金虫 (正式写手)
|
[求助]
TiN薄膜退火 已有3人参与
|
| 我在室温下沉积了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小时，薄膜爆膜请问是什么原因？应该怎么改进使薄膜不爆膜。实验具体过程：（1）升温速度大约为6度 /min；保温时间60min，随炉真空降温，过了5小时降温到190 度，然后关闭机器真空保存，第二天取。（2）先在200度保温一小时，后继续加热到500度，保温30min，薄膜还是爆膜。 |
回复此楼» 猜你喜欢
非硅导热垫片求指点
已经有2人回复
-
求助CaO-Al2O3-Y2O3三元相图
已经有1人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有249人回复
-
有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业
已经有7人回复
-
光刻胶研发
已经有1人回复
-
博导推荐
已经有22人回复
-
吸波粉体电磁参数模具加工
已经有0人回复
-
关于BiFeO3基流延问题
已经有2人回复
-
国防科技大学空天科学学院招聘启事陶瓷基复合材料方向科研助理招聘
已经有859人回复
-
精准控杂，赋能多孔碳——阜成智能气氛炉成功完成多孔碳钝化杂质探究实验
已经有0人回复
-
求助：成都理工大学 《物理学与现代科技》课件
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助AZO薄膜退火的问题，退火后面电阻反而升高
已经有7人回复
- 请教制备薄膜时不同的退火方式
已经有14人回复
- 薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗？
已经有8人回复
- 09年晶体牛人名家实验室链接介绍(回帖有金币)
已经有161人回复
guilin24
铁虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4539.4
- 散金: 1428
- 红花: 4
- 帖子: 496
- 在线: 310.1小时
- 虫号: 983465
- 注册: 2010-03-27
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2014-05-23 20:03:56
chouniuccq
木虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 2982.6
- 散金: 5
- 帖子: 732
- 在线: 103.4小时
- 虫号: 927531
- 注册: 2009-12-14
- 专业: 能源化工
3楼2014-05-24 00:37:51
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2014-06-24 13:12:26
投票: