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guzhiqing金虫 (正式写手)
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TiN薄膜退火 已有3人参与
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| 我在室温下沉积了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小时，薄膜爆膜请问是什么原因？应该怎么改进使薄膜不爆膜。实验具体过程：（1）升温速度大约为6度 /min；保温时间60min，随炉真空降温，过了5小时降温到190 度，然后关闭机器真空保存，第二天取。（2）先在200度保温一小时，后继续加热到500度，保温30min，薄膜还是爆膜。 |
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guilin24
铁虫 (正式写手)
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2楼2014-05-23 20:03:56
chouniuccq
木虫 (正式写手)
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3楼2014-05-24 00:37:51
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4楼2014-06-24 13:12:26