| 查看: 1395 | 回复: 3 | |||
guzhiqing金虫 (正式写手)
|
[求助]
TiN薄膜退火 已有3人参与
|
| 我在室温下沉积了800nm厚的TiN薄膜， 500度真空退火一小时，薄膜爆膜请问是什么原因？应该怎么改进使薄膜不爆膜。实验具体过程：（1）升温速度大约为6度 /min；保温时间60min，随炉真空降温，过了5小时降温到190 度，然后关闭机器真空保存，第二天取。（2）先在200度保温一小时，后继续加热到500度，保温30min，薄膜还是爆膜。 |
回复此楼» 猜你喜欢
关于高温真空制备氧化亚硅（SiOx、SiO）的技术交流。
已经有0人回复
-
重磅分享｜全链路AI材料研发闭环平台PULSE即将发布，重构新材料研发范式
已经有888人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有132人回复
-
材料模拟计算
已经有0人回复
-
多孔结构的镍基催化剂
已经有7人回复
-
KFUPM Turki Baroud组招全奖博士/博后｜下一代膜材料・水凝胶・清洁水
已经有5人回复
-
Introduction to Surface Chemistry and Catalysis 第一版
已经有2人回复
-
2027申博自推荐帖
已经有0人回复
-
2026年新加坡访问学者交流
已经有0人回复
-
2026年新加坡访问学者交流
已经有0人回复
-
感恩，金币虽然不多，全部散尽，感恩
已经有382人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 求助AZO薄膜退火的问题，退火后面电阻反而升高
已经有7人回复
- 请教制备薄膜时不同的退火方式
已经有14人回复
- 薄膜的退火时间长短对薄膜影响大吗？
已经有8人回复
- 09年晶体牛人名家实验室链接介绍(回帖有金币)
已经有161人回复
guilin24
铁虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 4539.4
- 散金: 1428
- 红花: 4
- 帖子: 496
- 在线: 310.1小时
- 虫号: 983465
- 注册: 2010-03-27
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2014-05-23 20:03:56
chouniuccq
木虫 (正式写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 2982.6
- 散金: 5
- 帖子: 732
- 在线: 103.4小时
- 虫号: 927531
- 注册: 2009-12-14
- 专业: 能源化工
3楼2014-05-24 00:37:51
|
本帖内容被屏蔽 |
4楼2014-06-24 13:12:26
投票:
