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龙骧将军铁虫 (小有名气)
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[求助]
su8光刻 已有2人参与
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我用的是su8 2075 为什么我所形成的圆柱体 上大下小 底部看上去挺圆的 但顶部有多余的部分怎么也显影不掉 参数：780rmp 40秒 4240rmp 90秒 前烘 65℃ 3min 95℃ 9min 曝光 100秒 后烘 65℃ 2min 94℃ 7min 膜厚大概40微米 掩膜版是直径为20微米的圆形阵列 基底是普通玻璃 我也试过曝光30秒，结果相似 但与基底的结合性更差  搜狗截图20140515191250.jpg |
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supernatural: 屏蔽内容, 不允许在帖子里留下联系方式，如需联系，请站内短消息联系 2014-05-19 22:02:17
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9楼2014-05-19 14:15:09
tsung
木虫 (小有名气)
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2楼2014-05-15 20:57:33
龙骧将军
铁虫 (小有名气)
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3楼2014-05-16 10:04:26
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
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- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
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4楼2014-05-16 14:41:36
