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龙骧将军铁虫 (小有名气)
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su8光刻 已有2人参与
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我用的是su8 2075 为什么我所形成的圆柱体 上大下小 底部看上去挺圆的 但顶部有多余的部分怎么也显影不掉 参数：780rmp 40秒 4240rmp 90秒 前烘 65℃ 3min 95℃ 9min 曝光 100秒 后烘 65℃ 2min 94℃ 7min 膜厚大概40微米 掩膜版是直径为20微米的圆形阵列 基底是普通玻璃 我也试过曝光30秒，结果相似 但与基底的结合性更差  搜狗截图20140515191250.jpg |
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yswyx 
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4楼2014-05-16 14:41:36
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2楼2014-05-15 20:57:33
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3楼2014-05-16 10:04:26
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5楼2014-05-16 16:00:25
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