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如何将二氧化硅表面的硅烷除去
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如何将二氧化硅表面的硅烷除去
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用六甲基二硅胺(HMDS)与二氧化硅表面的羟基反应从而引入硅烷基,用什么方法可以将这个生成的硅烷基除去呢?除了UV/ozone还有更好的方法吗?
多谢!
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2楼
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Originally posted by
l419110028
at 2014-05-15 11:54:27
高温被烧啊,有机物就可以挥发啦啊
有化学方法可以除去硅烷基吗?
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3楼
2014-05-17 02:46:17
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