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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » PLD制备薄膜
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sky-blue

木虫 (正式写手)

[交流] PLD制备薄膜 已有2人参与

想做个多氧化物的薄膜.。请问物理沉积中哪种方法可以精确控制化学计量比呢。磁控溅射，PLD？各有哪些优缺点，哪种方法最好。
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Uknow,andyouwillneverknow...
1楼 2014-05-14 14:58:38
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sky-blue

木虫 (正式写手)
引用回帖:
11楼: Originally posted by bryano at 2014-05-15 12:35:37
各种沉积设备都有自身有点。从薄膜质量考虑的话PLD和MBE要好点。
关键要考虑几个问题：靶材有无易挥发性元素、结晶质量、溅射条件。

靶材如果有挥发性，是不是不适合做PLD
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Uknow,andyouwillneverknow...
13楼2015-01-07 16:49:07
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
帮顶，blessing, blessing, blessing ! ~~~
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7楼2014-05-14 15:53:09
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妮妮甑

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
sky-blue: 金币+3 2014-05-15 02:22:55
PLD或LMBE吧，都控制的很准确。。。

[ 发自小木虫客户端 ]
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千里之行 始于足下
8楼2014-05-14 21:42:32
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MQWYY3

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
个人绝得PLD应该合适吧
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愿得一人心 白首不相离
9楼2014-05-15 08:10:26
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