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原子层沉积生长氧化铝薄膜腐蚀问题 已有1人参与
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本人用ALD生长氧化铝薄膜做钝化，请问用什么溶液腐蚀氧化铝。 如果有相关文献，也请推荐一下，感激不尽~！ |
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ms_hit_yzy
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2楼2014-05-19 23:19:22
