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原子层沉积生长氧化铝薄膜腐蚀问题 已有1人参与
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本人用ALD生长氧化铝薄膜做钝化,请问用什么溶液腐蚀氧化铝。 如果有相关文献,也请推荐一下,感激不尽~! |
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