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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 基础理论 » 原子层沉积生长氧化铝薄膜腐蚀问题
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sundecat

新虫 (小有名气)

[求助] 原子层沉积生长氧化铝薄膜腐蚀问题 已有1人参与

本人用ALD生长氧化铝薄膜做钝化，请问用什么溶液腐蚀氧化铝。
如果有相关文献，也请推荐一下，感激不尽~！
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1楼 2014-04-29 16:20:31
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zxye

铜虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

磷酸溶液就可以，可以问一下你是在哪里做的ALD氧化铝吗，做的多厚啊，也想用ALD氧化铝做绝缘，找不到地方。
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2楼2015-04-21 17:02:01
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小目蟲

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zxye at 2015-04-21 17:02:01
磷酸溶液就可以，可以问一下你是在哪里做的ALD氧化铝吗，做的多厚啊，也想用ALD氧化铝做绝缘，找不到地方。

苏州纳米所纳米加工平台可以做的

发自小木虫IOS客户端
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3楼2019-05-08 00:38:21
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