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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 交流互助 » 磁控溅射氩气通不进去，流量计示数显示为零，怎么回事啊？
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张娇阳

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氩气通不进去，流量计示数显示为零，怎么回事啊？ 已有1人参与

如题。磁控溅射氩气突然通不进去，气瓶氩气足量。
会不会是质量流量计坏了呢？
还有，如果氩气管路坏了，我可以换成氧气的管路用氩气吗？
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1楼 2014-04-27 16:22:26
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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张娇阳(ivansdk代发): 金币+5 2014-10-13 20:09:49
氩气进不去，你拔掉对接头，看看瓶子里出没出气，如果出气了，说明你的流量计有问题了。
可以用氧气管路，但是前提是必须清管子，要不吸附的氧分子，会让你的靶材中毒。
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2楼2014-04-28 10:26:26
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