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磁控溅射氩气通不进去，流量计示数显示为零，怎么回事啊？ 已有1人参与
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如题。磁控溅射氩气突然通不进去，气瓶氩气足量。 会不会是质量流量计坏了呢？ 还有，如果氩气管路坏了，我可以换成氧气的管路用氩气吗？ |
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2楼2014-04-28 10:26:26