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汕头大学海洋科学接受调剂
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张娇阳

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氩气通不进去,流量计示数显示为零,怎么回事啊? 已有1人参与

如题。磁控溅射氩气突然通不进去,气瓶氩气足量。
会不会是质量流量计坏了呢?
还有,如果氩气管路坏了,我可以换成氧气的管路用氩气吗?
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刺客yl

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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张娇阳(ivansdk代发): 金币+5 2014-10-13 20:09:49
氩气进不去,你拔掉对接头,看看瓶子里出没出气,如果出气了,说明你的流量计有问题了。
可以用氧气管路,但是前提是必须清管子,要不吸附的氧分子,会让你的靶材中毒。
2楼2014-04-28 10:26:26
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