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磁控溅射氩气通不进去,流量计示数显示为零,怎么回事啊? 已有1人参与
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如题。磁控溅射氩气突然通不进去,气瓶氩气足量。 会不会是质量流量计坏了呢? 还有,如果氩气管路坏了,我可以换成氧气的管路用氩气吗? |
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2楼2014-04-28 10:26:26














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