版块导航: 正在加载中...

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

返回列表

张娇阳

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 2984.5
帖子: 8
在线: 23.2小时
虫号: 2365519
注册: 2013-03-21
专业: 半导体光电子器件

[求助] 磁控溅射氩气通不进去，流量计示数显示为零，怎么回事啊？已有1人参与

如题。磁控溅射氩气突然通不进去，气瓶氩气足量。
会不会是质量流量计坏了呢？
还有，如果氩气管路坏了，我可以换成氧气的管路用氩气吗？

回复此楼

» 猜你喜欢

085600材料与化工调剂已经有10人回复
279分求调剂一志愿211 已经有18人回复
0703化学求调剂已经有5人回复
材料292调剂已经有3人回复
一志愿陕师大生物学071000，298分，求调剂已经有3人回复
306求0703调剂一志愿华中师范已经有7人回复
333求调剂已经有3人回复
335求调剂已经有4人回复
336求调剂已经有4人回复
303求调剂已经有4人回复

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

磁控溅射时，氩气流速不同有什么影响？已经有7人回复

1楼 2014-04-27 16:22:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

刺客yl

铁虫 (正式写手)

应助: 70 (初中生)
金币: 493.8
红花: 4
帖子: 320
在线: 76.3小时
虫号: 3092993
注册: 2014-03-27
专业: 畜牧学

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
张娇阳(ivansdk代发): 金币+5 2014-10-13 20:09:49

氩气进不去，你拔掉对接头，看看瓶子里出没出气，如果出气了，说明你的流量计有问题了。
可以用氧气管路，但是前提是必须清管子，要不吸附的氧分子，会让你的靶材中毒。

赞一下