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蒲公英TBH金虫 (初入文坛)
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ANSYS电场仿真
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这是铜互连线电场仿真模型，区域1、9是SiO2，区域2、3是Ta，区域4、5是铜，区域6、8是SiCN,区域7是SiCOH。区域五为正电压，区域四接地，我选用了PLANE121，材料只需要定义介电常数，但是金属没有介电常数啊，铜和铊要怎样定义啊？还有电压要怎样加？ 以下是我编写的一部分APDL语言 /PREP7 /TITLE, CU INTERCONNECTS /replot ET,1,PLANE121 V1=5 V0=0 MP,PERX,1,? !铜的介电常数 MP,PERX,2,? !铊的介电常数 MP,PERX,3,4.2 MP,PERX,4,3.0 MP,PERX,5,3.9 k,1,-100e-9,0 k,2,100e-9,0 k,3,100e-9,50e-9 k,4,50e-9,50e-9 k,5,-50e-9,50e-9 k,6,-100e-9,50e-9 k,7,-100e-9,60e-9 k,8,-60e-9,60e-9 k,9,-50e-9,60e-9 k,10,50e-9,60e-9 k,11,60e-9,60e-9 k,12,100e-9,60e-9 k,13,100e-9,100e-9 k,14,60e-9,100e-9 k,15,50e-9,100e-9 k,16,-50e-9,100e-9 k,17,-60e-9,100e-9 k,18,-100e-9,100e-9 k,19,-100e-9,110e-9 k,20,100e-9,110e-9 k,21,100e-9,160e-9 k,22,-100e-9,160e-9 a,1,2,3,4,5,6 a,12,11,14,15,10,4,3 a,5,9,16,17,8,7,6 a,11,12,13,14 a,7,8,17,18 a,4,5,9,10 a,9,10,15,16 a,13,18,19,20 a,20,19,22,21 /pnum,area,1 /replot Aplot /show,jpeg aplot /show,close ASEL,S,AREA,,1,9 ！设置材料属性 AATT,5 ASEL,S,AREA,,2,3 AATT,2 ASEL,S,AREA,,4,5 AATT,1 ASEL,S,AREA,,6,8 AATT,3 ASEL,S,AREA,,7 AATT,4 ASEL,ALL LESIZE,ALL,,,8 !space=8网格划分最后一段是第一段的8倍 LSEL,ALL SMRTSIZE,3 MSHAPE,1 ! 三角形 AMESH,ALL NSEL,S,LOC,Y,60e-9,100e-9 ！加载荷，胡乱整的，求大神指点 NSEL,R,LOC,X,-100e-9,-60e-9 D,ALL,VOLT,V1 NSEL,S,LOC,Y,60e-9,100e-9 NSEL,R,LOC,X,60e-9,100e-9 D,ALL,VOLT,V0 NSEL,ALL FINISH  结构.png |
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