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蒲公英TBH

金虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 868.6
帖子: 14
在线: 26.2小时
虫号: 3127833
注册: 2014-04-11
性别: MM
专业: 集成电路设计与测试

[求助] ANSYS电场仿真

这是铜互连线电场仿真模型，区域1、9是SiO2，区域2、3是Ta，区域4、5是铜，区域6、8是SiCN,区域7是SiCOH。区域五为正电压，区域四接地，我选用了PLANE121，材料只需要定义介电常数，但是金属没有介电常数啊，铜和铊要怎样定义啊？还有电压要怎样加？
以下是我编写的一部分APDL语言
/PREP7
/TITLE, CU INTERCONNECTS
/replot
ET,1,PLANE121
V1=5
V0=0
MP,PERX,1,?    !铜的介电常数
MP,PERX,2,?    !铊的介电常数
MP,PERX,3,4.2
MP,PERX,4,3.0
MP,PERX,5,3.9

k,1,-100e-9,0
k,2,100e-9,0
k,3,100e-9,50e-9
k,4,50e-9,50e-9
k,5,-50e-9,50e-9
k,6,-100e-9,50e-9
k,7,-100e-9,60e-9
k,8,-60e-9,60e-9
k,9,-50e-9,60e-9
k,10,50e-9,60e-9
k,11,60e-9,60e-9
k,12,100e-9,60e-9
k,13,100e-9,100e-9
k,14,60e-9,100e-9
k,15,50e-9,100e-9
k,16,-50e-9,100e-9
k,17,-60e-9,100e-9
k,18,-100e-9,100e-9
k,19,-100e-9,110e-9
k,20,100e-9,110e-9
k,21,100e-9,160e-9
k,22,-100e-9,160e-9
a,1,2,3,4,5,6
a,12,11,14,15,10,4,3
a,5,9,16,17,8,7,6
a,11,12,13,14
a,7,8,17,18
a,4,5,9,10
a,9,10,15,16
a,13,18,19,20
a,20,19,22,21

/pnum,area,1
/replot
Aplot

/show,jpeg
aplot
/show,close

ASEL,S,AREA,,1,9    ！设置材料属性
AATT,5
ASEL,S,AREA,,2,3
AATT,2
ASEL,S,AREA,,4,5
AATT,1
ASEL,S,AREA,,6,8
AATT,3
ASEL,S,AREA,,7
AATT,4

ASEL,ALL
LESIZE,ALL,,,8 !space=8网格划分最后一段是第一段的8倍
LSEL,ALL
SMRTSIZE,3
MSHAPE,1 ! 三角形
AMESH,ALL

NSEL,S,LOC,Y,60e-9,100e-9    ！加载荷，胡乱整的，求大神指点
NSEL,R,LOC,X,-100e-9,-60e-9
D,ALL,VOLT,V1
NSEL,S,LOC,Y,60e-9,100e-9
NSEL,R,LOC,X,60e-9,100e-9
D,ALL,VOLT,V0
NSEL,ALL
FINISH

结构.png

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