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wj0702114081金虫 (正式写手)
学神的奴隶
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[求助]
关于离子注入的基本理论求交流
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在看一些离子注入晶体的硕博论文时看到的说法如下： 离子注入前端，离子主要与电子相互作用，能量损失为电子能量损失，主要引起的缺陷是点缺陷。 离子注入末端，离子主要与材料中的核子发生相互作用，能量损失为核子能量损失，引起原子位错，从而破坏晶体的晶格结构，在射程末端形成一个晶格损伤层。 小弟有点不解。 为什么前端就主要是电子能量损失呢？前端能量高，末端能量低。跟谁相互作用跟能量高低有什么直接关系呢？ 另外点缺陷不就是位错和间隙原子（翻了下固体物理书）。原子位错我想说的应该是大面积位错。 为什么前者可以退货修复，后者就不行呢？ 本科时候的原子物理和固体物理的知识基本已经全部还给老师了。 欢迎各位来交流或前来解惑。 |
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看太多，然后给忘了。。。不过有篇英文的文献你可以看看 Bianconi, M., G. G. Bentini, M. Chiarini, P. De Nicola, G. B. Montanari, A. Nubile and S. Sugliani (2009). "Defect engineering and micromachining of Lithium Niobate by ion implantation." Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms 267(17): 2839-2845. |
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