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chc33

新虫 (初入文坛)

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[求助] 光刻胶烘烤已有6人参与

请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢
我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。

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1楼 2014-04-12 19:03:50

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yswyx

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【答案】应助回帖

S1805的分辨率本身估计够呛，除非是使用像nanoscribe那样的激光直写。
传统的曝光方式，200nm的线宽，应该用分辨率更好的光刻胶，比如对应248nm曝光的光刻胶。
至于硅片和石英玻璃的烘烤时间，如果是热板的话，差别存在，但是很小。因为片子本身的厚度很薄，硅和石英的导热系数差异引起的差别很小。