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光刻胶烘烤 已有6人参与
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请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢 我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。 |
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2楼2014-04-13 22:58:37
3楼2014-04-14 16:27:53
静静一yi
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yuanxin5254
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6楼2014-04-16 16:18:28
静静一yi
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8楼2014-04-16 21:15:40
yswyx 
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