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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶烘烤
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶烘烤 已有6人参与

请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢
我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。
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1楼 2014-04-12 19:03:50
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Annica at 2014-04-13 22:58:37
用的是电子束胶吗？

您好，我们用S1805正胶
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3楼2014-04-14 16:27:53
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Annica

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用的是电子束胶吗？
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2楼2014-04-13 22:58:37
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
S1805有他的标准工艺啊~我这边有，要不要传一份给你呢，每个衬底的情况和粘附性都不同，肯定参数会有差别，建议楼主按照新胶的来摸索一下，多做几个对比实验，很多结果就出来了
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15501697107
4楼2014-04-15 15:02:10
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 静静一yi at 2014-04-15 15:02:10
S1805有他的标准工艺啊~我这边有，要不要传一份给你呢，每个衬底的情况和粘附性都不同，肯定参数会有差别，建议楼主按照新胶的来摸索一下，多做几个对比实验，很多结果就出来了

那麻烦您传我邮箱一份怎么样？万分感谢！
chc33@163.com
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5楼2014-04-16 14:00:10
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