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光刻胶烘烤 已有6人参与
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请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢 我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。 |
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3楼2014-04-14 16:27:53
2楼2014-04-13 22:58:37
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
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- 专业: 半导体光电子器件
4楼2014-04-15 15:02:10
5楼2014-04-16 14:00:10
