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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶烘烤 已有6人参与

请问各位高手,硅片和石英玻璃的导热系数哪个大?在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶,是不是软烘的温度和时间也应该不一样?谢谢
我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽,请问分辨率能够吗?望指点,深表感谢。由于本人金币有限望见谅。
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chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Annica at 2014-04-13 22:58:37
用的是电子束胶吗?

您好,我们用S1805正胶
3楼2014-04-14 16:27:53
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Annica

新虫 (初入文坛)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
用的是电子束胶吗?
2楼2014-04-13 22:58:37
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
S1805有他的标准工艺啊~我这边有,要不要传一份给你呢,每个衬底的情况和粘附性都不同,肯定参数会有差别,建议楼主按照新胶的来摸索一下,多做几个对比实验,很多结果就出来了
15501697107
4楼2014-04-15 15:02:10
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chc33

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 静静一yi at 2014-04-15 15:02:10
S1805有他的标准工艺啊~我这边有,要不要传一份给你呢,每个衬底的情况和粘附性都不同,肯定参数会有差别,建议楼主按照新胶的来摸索一下,多做几个对比实验,很多结果就出来了

那麻烦您传我邮箱一份怎么样?万分感谢!
chc33@163.com
5楼2014-04-16 14:00:10
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