| 查看: 2195 | 回复: 9 | |||
[求助]
光刻胶烘烤 已有6人参与
|
|
请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢 我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。 |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有13人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有164人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
招生--河北大学26年秋季入学博士
已经有1人回复
2楼2014-04-13 22:58:37
3楼2014-04-14 16:27:53
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
4楼2014-04-15 15:02:10
5楼2014-04-16 14:00:10
yuanxin5254
金虫 (正式写手)
- 应助: 26 (小学生)
- 金币: 1035.4
- 散金: 165
- 红花: 2
- 帖子: 302
- 在线: 105.3小时
- 虫号: 3010956
- 注册: 2014-03-02
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
6楼2014-04-16 16:18:28
静静一yi
捐助贵宾 (著名写手)
静静
- 应助: 61 (初中生)
- 金币: 1334.7
- 散金: 4327
- 红花: 31
- 帖子: 1316
- 在线: 195.8小时
- 虫号: 2025780
- 注册: 2012-09-24
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
7楼2014-04-16 17:14:53
spiderman504
金虫 (小有名气)
- MN-EPI: 1
- 应助: 30 (小学生)
- 金币: 1213
- 红花: 1
- 帖子: 147
- 在线: 35小时
- 虫号: 3094198
- 注册: 2014-03-27
- 性别: GG
- 专业: 半导体光电子器件
8楼2014-04-16 21:15:40
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
9楼2014-04-18 16:40:42
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2507
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
10楼2014-05-04 16:47:54