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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶烘烤
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chc33

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶烘烤 已有6人参与

请问各位高手，硅片和石英玻璃的导热系数哪个大？在相同尺寸的硅片和玻璃片上涂正性光刻胶，是不是软烘的温度和时间也应该不一样？谢谢
我想用500nm厚的光刻胶做200nm的线宽，请问分辨率能够吗？望指点，深表感谢。由于本人金币有限望见谅。
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1楼 2014-04-12 19:03:50
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Annica

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
用的是电子束胶吗？
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2楼2014-04-13 22:58:37
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Annica at 2014-04-13 22:58:37
用的是电子束胶吗？

您好，我们用S1805正胶
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3楼2014-04-14 16:27:53
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
S1805有他的标准工艺啊~我这边有，要不要传一份给你呢，每个衬底的情况和粘附性都不同，肯定参数会有差别，建议楼主按照新胶的来摸索一下，多做几个对比实验，很多结果就出来了
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15501697107
4楼2014-04-15 15:02:10
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chc33

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 静静一yi at 2014-04-15 15:02:10
S1805有他的标准工艺啊~我这边有，要不要传一份给你呢，每个衬底的情况和粘附性都不同，肯定参数会有差别，建议楼主按照新胶的来摸索一下，多做几个对比实验，很多结果就出来了

那麻烦您传我邮箱一份怎么样？万分感谢！
chc33@163.com
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5楼2014-04-16 14:00:10
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yuanxin5254

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

你买光刻胶的时候厂家应该给你一个参考工艺吧，一般是转速跟胶厚的关系，石英片的前烘一般在160-180摄氏度，硅片也差不多，两分钟吧，看你们胶的类型和环境湿度了。分辨率一般没问题，你做之前先做找出最佳焦面和曝光能量。
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我们坚持做一件事情，并不是这样做了有效果，而是坚信，这样做了是对的。
6楼2014-04-16 16:18:28
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静静一yi

捐助贵宾 (著名写手)

静静
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
5楼: Originally posted by chc33 at 2014-04-16 14:00:10
那麻烦您传我邮箱一份怎么样？万分感谢！
chc33163.com...

ok,在资料已经发送邮箱，注意查收
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15501697107
7楼2014-04-16 17:14:53
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我现在就在做光刻胶的优化，你最好按照说明书的工艺，自己做对比实验，找出在你们实验室条件下的最佳工艺条件。就我的经验来看前烘温度和曝光量影响较大，烘烤时间什么的可以先不管。电热板的温度和光刻胶本身的温度还是有一定差别的，所以建议自己摸索着做几组实验，看下电镜，对比找出合适的条件。
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
8楼2014-04-16 21:15:40
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

S1805的分辨率本身估计够呛，除非是使用像nanoscribe那样的激光直写。
传统的曝光方式，200nm的线宽，应该用分辨率更好的光刻胶，比如对应248nm曝光的光刻胶。
至于硅片和石英玻璃的烘烤时间，如果是热板的话，差别存在，但是很小。因为片子本身的厚度很薄，硅和石英的导热系数差异引起的差别很小。
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9楼2014-04-18 16:40:42
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

标准工艺都是用来参考的，具体的工艺参数还是要根据本地实验室来实际摸索的！
S1805作出来200nm线条很难的，这深宽比都达到2.5了！
还有硅片的导热系数明显要高于玻璃片，所以硅片上烘烤的时候可以稍微短一些！我知道另一款AZ的好像是3170吧 那个比较薄 100纳米厚度左右！
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10楼2014-05-04 16:47:54
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