应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻工艺优化
51/1返回列表
查看: 1764  |  回复: 14
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

[求助] 光刻工艺优化 已有3人参与

光刻胶EPG516 正胶
转速：先500r/min,后2650r/min           3um
图中前烘温度75、80度,时间60s.
该光刻胶没有后烘工艺，曝光量100mJ/cm2,接触式曝光，显影时间60s.
图中台阶的倒角我做的最好也就65度左右，改过温度，时间，曝光量，其中显影时间是以显影完全为准，没有考虑时间。结果都不太理想，还应该朝哪方面优化。

光刻工艺优化
516 75.jpg


光刻工艺优化-1
516 80-4.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
1楼 2014-04-07 22:29:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

不可能吧 我用的EPG518 比你的略厚的，前烘都是100度的
赞一下 回复此楼
7楼2014-05-04 16:49:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
spiderman504: 金币+2, ★有帮助 2014-04-21 16:50:16
永光的胶确实不好用，建议别调了，这种黑边的胶，工艺很麻烦。
建议用AZ9912或者国产i线胶（锐材的i1000）试试，厚度不一定有这么厚，但垂直度肯定没问题。
赞一下 回复此楼
2楼2014-04-18 18:02:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2014-04-18 18:02:18
永光的胶确实不好用，建议别调了，这种黑边的胶，工艺很麻烦。
建议用AZ9912或者国产i线胶（锐材的i1000）试试，厚度不一定有这么厚，但垂直度肯定没问题。

好忧伤，本科毕设让做这个，怎么破？
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
3楼2014-04-21 16:50:02
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by spiderman504 at 2014-04-21 16:50:02
好忧伤，本科毕设让做这个，怎么破？...

一般的胶很少有这么低的前烘温度，建议你用100度试试不同时间下的光刻。
这样胶会烘的比较硬，光刻时间会随之增长，显影时间也会略长。
试试看吧……
赞一下 回复此楼
4楼2014-04-22 14:08:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 15 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭