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CVD 长出来的石墨烯 表面有一层碳颗粒 怎么避免 啊 啊
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zshliang
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2014-03-31 09:59:10
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peterflyer
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peterflyer
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【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
在生长后期尝试加大氢气的流量,用氢气刻蚀掉非晶碳颗粒。
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2014-03-31 16:41:21
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注册: 2013-09-16
性别: GG
专业: 无机材料化学
【答案】应助回帖
尝试低压烧制,我也是刚刚解决这个问题,氢气量不宜过大。另外压力不能过低以免导致铜挥发,大概在20torr左右
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3楼
2014-04-29 09:52:41
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zshliang
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4楼
2014-04-30 08:32:48
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