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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 为什么用EPMA检测不到N?
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May-wm

木虫 (正式写手)

[求助] 为什么用EPMA检测不到N? 已有4人参与

本人做的是cu-ti-n三元合金薄膜，用俄歇和XPS都能检测到薄膜中的N,但是用EPMA却检测不到N,请问这是为什么呢》？
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路漫漫其修远兮。
1楼 2014-03-28 09:08:43
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by May-wm at 2014-03-31 12:36:15
我们已经这样刻蚀过了 没用啊...

这种。。可以试试二次离子质谱，xps已经还可以了，是个半定量的，实在不行也只能用这个了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2014-03-31 12:46:49
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魔音穿脑

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
May-wm: 金币+2, ★有帮助 2014-03-30 14:48:14
换换窗口试试，不是有两种吗？
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2楼2014-03-28 12:24:54
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sarahzyp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
May-wm: 金币+3, ★有帮助 2014-03-30 14:49:50
EPMA有两种信号，能谱仪和波谱仪，用来测轻元素是不准的，特别是能谱仪，根本测不到原子序数小于5的元素，而且分辨率低，N的原子序数才7，如果成分少的话是测不出来的。波谱仪虽然比能谱仪好一点，但还是不够。
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3楼2014-03-28 15:03:06
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May-wm

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 魔音穿脑 at 2014-03-28 12:24:54
换换窗口试试，不是有两种吗？

换哪个窗口？
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路漫漫其修远兮。
4楼2014-03-30 14:48:37
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