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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 为什么用EPMA检测不到N?
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May-wm

木虫 (正式写手)

[求助] 为什么用EPMA检测不到N? 已有4人参与

本人做的是cu-ti-n三元合金薄膜，用俄歇和XPS都能检测到薄膜中的N,但是用EPMA却检测不到N,请问这是为什么呢》？
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路漫漫其修远兮。
1楼 2014-03-28 09:08:43
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魔音穿脑

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
May-wm: 金币+2, ★有帮助 2014-03-30 14:48:14
换换窗口试试，不是有两种吗？
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2楼2014-03-28 12:24:54
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sarahzyp

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
May-wm: 金币+3, ★有帮助 2014-03-30 14:49:50
EPMA有两种信号，能谱仪和波谱仪，用来测轻元素是不准的，特别是能谱仪，根本测不到原子序数小于5的元素，而且分辨率低，N的原子序数才7，如果成分少的话是测不出来的。波谱仪虽然比能谱仪好一点，但还是不够。
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3楼2014-03-28 15:03:06
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May-wm

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 魔音穿脑 at 2014-03-28 12:24:54
换换窗口试试，不是有两种吗？

换哪个窗口？
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路漫漫其修远兮。
4楼2014-03-30 14:48:37
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May-wm

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by sarahzyp at 2014-03-28 15:03:06
EPMA有两种信号，能谱仪和波谱仪，用来测轻元素是不准的，特别是能谱仪，根本测不到原子序数小于5的元素，而且分辨率低，N的原子序数才7，如果成分少的话是测不出来的。波谱仪虽然比能谱仪好一点，但还是不够。

那请问还有别的方法可以测出N的微量成分么？
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路漫漫其修远兮。
5楼2014-03-30 14:49:15
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sarahzyp

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by May-wm at 2014-03-30 14:49:15
那请问还有别的方法可以测出N的微量成分么？...

就你说的 俄歇和XPS都可以
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6楼2014-03-31 10:13:26
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★
May-wm: 金币+2 2014-03-31 12:35:46
不过可惜俄歇和XPS测N也不准的，很容易被空气污染，什么样品只要在空气中暴露N是肯定有的，这两个的检测深度太浅了，可以考虑离子枪溅射掉表面做XPS试试
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7楼2014-03-31 12:24:24
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May-wm

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by sarahzyp at 2014-03-31 10:13:26
就你说的 俄歇和XPS都可以...

就是因为这个都做过了啊 这两个的定量都不准啊
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路漫漫其修远兮。
8楼2014-03-31 12:35:27
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May-wm

木虫 (正式写手)
引用回帖:
7楼: Originally posted by gxytju2008 at 2014-03-31 12:24:24
不过可惜俄歇和XPS测N也不准的，很容易被空气污染，什么样品只要在空气中暴露N是肯定有的，这两个的检测深度太浅了，可以考虑离子枪溅射掉表面做XPS试试

我们已经这样刻蚀过了 没用啊
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路漫漫其修远兮。
9楼2014-03-31 12:36:15
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

引用回帖:
9楼: Originally posted by May-wm at 2014-03-31 12:36:15
我们已经这样刻蚀过了 没用啊...

这种。。可以试试二次离子质谱，xps已经还可以了，是个半定量的，实在不行也只能用这个了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2014-03-31 12:46:49
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