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汕头大学海洋科学接受调剂
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ytusnow

新虫 (小有名气)

[求助] PECVD制备二氧化硅有大量粉尘生成 已有2人参与

用笑气和氩气稀释的硅烷制备氧化硅,有大量粉尘生成是为什么?
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


感谢参与,应助指数 +1
chemlh: 应助指数-1 2014-03-27 16:48:11
之前做过多晶硅?
2楼2014-03-25 17:48:26
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ina_liu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

利用率低,有大量中间产物和剩余反应物为白色

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
3楼2014-04-07 09:03:33
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ytusnow

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by ina_liu at 2014-04-07 09:03:33
利用率低,有大量中间产物和剩余反应物为白色

有时候生成一层很薄的透明的白色物质,用手一擦就没有了,就是不长薄膜,是功率太大还是和压强有关系?
4楼2014-04-07 13:41:19
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ina_liu

金虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ytusnow at 2014-04-07 13:41:19
有时候生成一层很薄的透明的白色物质,用手一擦就没有了,就是不长薄膜,是功率太大还是和压强有关系?...

白色透明的应该是胶体,胶体就是聚合物了,我用CVD,没有用过PECVD,所以不知道功率和压强的影响
5楼2014-04-13 17:30:21
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