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feisnail

新虫 (初入文坛)

[求助] CuAlO薄膜退火后脱落,为什么,求助 已有1人参与

如题,用磁控溅射镀CuAlO薄膜,退火后薄膜不见了,应该是脱落了,为什么会这样,有没有解决办法,求大虾门帮助,感激不尽
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
膜与基底的热胀系数可能大了些。
2楼2014-03-26 10:15:24
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feisnail

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by xhtangxh at 2014-03-26 10:15:24
膜与基底的热胀系数可能大了些。

那请问有什么办法解决么?
3楼2014-04-10 16:59:57
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xhtangxh

木虫 (著名写手)

有木有虫

应该是“膜与基底的热胀系数可能差別大了些”。
那就找与CuAlO材料物理性质相近的做基底呗。
4楼2014-04-11 16:26:15
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