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模拟CVD法制备GaN纳米线生长
模拟CVD法制备GaN纳米线生长
本人最近做“模拟CVD法制备GaN纳米线生长”,建立物理模型,得到温度、流量等工艺参数影响,请问用什么软件好呢?
还有,就是推荐一下相关的论文,不胜感激!
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