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hittyk

金虫 (正式写手)

[求助] HF酸腐蚀二氧化硅的最佳配比 已有2人参与

想用HF酸腐蚀二氧化硅,请问是浓度越大越好么?有没有最佳配比啊?
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橡胶人

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【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
sddtc888: 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-11 18:36:22
2楼2014-03-11 15:59:46
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redmast

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与,应助指数 +1
sddtc888: 金币+1, 感谢应助,欢迎常来! 2014-03-11 18:36:12
这个得看你自己刻二氧化硅干嘛了,要光滑的表面还是粗糙的表面?
当然不是浓度越大越好,浓度越大刻蚀速度越快,但是要注意,氢氟酸有剧毒,浓度高了会挥发,一定要做好防护。
3楼2014-03-11 18:21:31
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hittyk

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by redmast at 2014-03-11 18:21:31
这个得看你自己刻二氧化硅干嘛了,要光滑的表面还是粗糙的表面?
当然不是浓度越大越好,浓度越大刻蚀速度越快,但是要注意,氢氟酸有剧毒,浓度高了会挥发,一定要做好防护。

我是单纯的想用HF酸将SOI的埋氧层腐蚀掉。
静以修身,俭以养德
4楼2014-03-11 19:43:47
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hittyk

金虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 橡胶人 at 2014-03-11 15:59:46
推荐:http://www.baidu.com/link?url=hze2RjTQRZkI8nX8nJ0ygeVQDb_d83MgduVkzPpXszhUHmC_9BwbrH6xYSr2-bslZnApoHy9CQBSrAYdunNt7P2xokIckJLB5M9sVw1STSO

好的。谢谢。
静以修身,俭以养德
5楼2014-03-11 19:52:13
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Sakuranoumi

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by hittyk at 2014-03-11 19:43:47
我是单纯的想用HF酸将SOI的埋氧层腐蚀掉。...

那样用BHF比较安全
6楼2014-03-12 09:24:53
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redmast

金虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by hittyk at 2014-03-11 19:43:47
我是单纯的想用HF酸将SOI的埋氧层腐蚀掉。...

这就好办了,那你就用低浓度的,高浓度的很危险。用5%吧
7楼2014-03-12 09:38:29
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