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[交流]
测量溅射的薄膜的各原子成份比可以用什么？
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| 如题，薄膜是TbFeCo，由Tb靶材和FeCo靶材共溅射得到，厚度大约50nm，请问怎么样测Tb和FeCo的原子比，EDS或XPS可以做到不？哪个更精确和易于实现点？ |
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