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firstlaker

金虫 (正式写手)

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[交流] 测量溅射的薄膜的各原子成份比可以用什么？

如题，薄膜是TbFeCo，由Tb靶材和FeCo靶材共溅射得到，厚度大约50nm，请问怎么样测Tb和FeCo的原子比，EDS或XPS可以做到不？哪个更精确和易于实现点？

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1楼 2014-03-05 12:12:05

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herlife

新虫 (小有名气)

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XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中，采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析，其分析精度达 1 ％～ 2 ％。

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10楼2014-03-05 13:30:37

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cxjzly2008

木虫之王 (文学泰斗)

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2楼2014-03-05 12:23:27

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water01

禁虫 (初入文坛)

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11楼2014-03-05 14:36:20

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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

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引用回帖:

10楼: Originally posted by herlife at 2014-03-05 13:30:37
XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中，采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析，其分析精度达 1 ％～ 2 ％。

XPS用来做不同元素的比例分析准确吗？
听说XPS一般只用来分析价态

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12楼2014-03-05 15:22:21

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