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firstlaker

金虫 (正式写手)


[交流] 测量溅射的薄膜的各原子成份比可以用什么?

如题,薄膜是TbFeCo,由Tb靶材和FeCo靶材共溅射得到,厚度大约50nm,请问怎么样测Tb和FeCo的原子比,EDS或XPS可以做到不?哪个更精确和易于实现点?
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herlife

新虫 (小有名气)



firstlaker(金币+1): 谢谢参与
XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中,采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析,其分析精度达 1 %~ 2 %。
10楼2014-03-05 13:30:37
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water01

禁虫 (初入文坛)


firstlaker(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽

11楼2014-03-05 14:36:20
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by herlife at 2014-03-05 13:30:37
XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中,采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析,其分析精度达 1 %~ 2 %。

XPS用来做不同元素的比例分析准确吗?
听说XPS一般只用来分析价态
12楼2014-03-05 15:22:21
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
最好是用离子束分析的卢瑟福背散射方法!
13楼2014-03-05 17:25:57
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