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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 测量溅射的薄膜的各原子成份比可以用什么？
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firstlaker

金虫 (正式写手)

[交流] 测量溅射的薄膜的各原子成份比可以用什么？

如题，薄膜是TbFeCo，由Tb靶材和FeCo靶材共溅射得到，厚度大约50nm，请问怎么样测Tb和FeCo的原子比，EDS或XPS可以做到不？哪个更精确和易于实现点？
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1楼 2014-03-05 12:12:05
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water01

禁虫 (初入文坛)
★
firstlaker(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
11楼2014-03-05 14:36:20
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herlife

新虫 (小有名气)
★
firstlaker(金币+1): 谢谢参与
XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中，采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析，其分析精度达 1 ％～ 2 ％。
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10楼2014-03-05 13:30:37
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
10楼: Originally posted by herlife at 2014-03-05 13:30:37
XPS
比例分析依据是光电子谱线的强度(光电子蜂的面积)反映了原子的含量或相对浓度。在实际分析中，采用与标准样品相比较的方法来对元素进行定量分析，其分析精度达 1 ％～ 2 ％。

XPS用来做不同元素的比例分析准确吗？
听说XPS一般只用来分析价态
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12楼2014-03-05 15:22:21
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最好是用离子束分析的卢瑟福背散射方法！
赞一下 回复此楼
13楼2014-03-05 17:25:57
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