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wmz1021木虫 (正式写手)
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[交流]
磁控溅射中如何用氩离子轰击基片 已有9人参与
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在磁控溅射做薄膜的时候想在溅射金属之前预先用氩离子轰击基片, 请问这样如何操作, 用不用加偏压呢? 已删 [ Last edited by wmz1021 on 2017-12-11 at 21:17 ] |
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12楼2015-10-26 10:59:46
zhonghua210
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2楼2014-03-04 13:21:09
wmz1021
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3楼2014-03-04 13:25:44
rsbc2013
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