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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 关于压电薄膜的极化
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renxueting

银虫 (初入文坛)

[求助] 关于压电薄膜的极化

要测试PZT压电薄膜的谐振与反谐振频率，但是PZT压电薄膜如何极化呢？是不是要把基片去掉呢？但是去掉后膜又很薄。是不是外延制备的PZT薄膜就不需要极化了呢？有谁做过相关的呢？求助
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做勤劳的虫子
1楼 2014-03-03 18:20:02
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renxueting

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wiseroy at 2014-03-04 09:49:49
1、外延薄膜控制好厚度和条件确实可以做到极化方向朝向一致。
2、也可以采用三明治电机结构极化。

是跟陶瓷极化方式一样么？薄膜厚度是1um左右，极化是不是先要把基片腐蚀掉呢？
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做勤劳的虫子
3楼2014-03-05 10:28:20
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wiseroy

木虫 (著名写手)

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1、外延薄膜控制好厚度和条件确实可以做到极化方向朝向一致。
2、也可以采用三明治电机结构极化。
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善良
2楼2014-03-04 09:49:49
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wiseroy

木虫 (著名写手)

更多共享-更多交流-更多进步
引用回帖:
3楼: Originally posted by renxueting at 2014-03-05 10:28:20
是跟陶瓷极化方式一样么？薄膜厚度是1um左右，极化是不是先要把基片腐蚀掉呢？...

基本一样。不用腐蚀。话说薄膜好厚，一般几百几十纳米。
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善良
4楼2014-03-05 11:07:29
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竹林风bamboo

新虫 (小有名气)
以前我做过一次极化，衬底当然不能腐蚀掉，如果简单的，就用两个铜板作为上下电极，但底电极处需要用焊锡连接好，再连接外接供电电路。
如果想不引入空间电荷的影响，那做好采用探针台作为电极引线
实际上，薄膜的退极化很快的。所以极化后测量可能不太可取，最好极化过程中采集测量数据。
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天道酬勤
5楼2014-04-04 16:35:41
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