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唐重鑫

铜虫 (小有名气)

[求助] 压电陶瓷极化碰到的问题【求助】

情况是这样:我们用压电陶瓷pzt块材减薄,到20um左右,粘到硅片上,分割,做成悬臂梁,震动测试,有输出电压,pzt买来就是已经极化过的。我们担心块材减薄的研磨过程,会减弱pzt的压电性能,就想再把pzt重新极化一下,常温空气中,用的仪器是长盛的耐压测试仪。碰到几个问题。
  1.本来已经极化过的,再极化,需要按照之前的正负方向极化吗?还有就是pzt的正负极是啥意思,极化的时候是电源正极接pzt的正,还是要反过来?
  2.极化电压是一下升上去,还是缓慢线性的升上去,还是分段的跳上去,哪样好?
  3.我们用100V-200V电压试过,电源正接pzt正的模式,电压线性缓慢上升,极化15分钟。极化后再测试,输出电压反而下降的很厉害,由300mV降到50mV左右。为什么性能会下降?按照我以前的理解,极化电压提高的话,顶多pzt性能不再提高,有可能下降么?
  4. 同一批的悬臂梁,有的50V就击穿了,有的200V还好的很,怎么差别那么大呢?
  我们现在用50v电压极化了几个,性能没有下降,是不是说明100-200V极化电压太高了?
  本人不是学材料的,对极化也没什么研究,实验碰到诸多难题,导致身心憔悴,夜不能寐啊。身边也没有搞压电材料的人,求助无门。现在来小木虫求教,希望懂的大牛指点一下,不胜感激,有任何一点建议或想法的,随口说两句也行,都会对我很有帮助的,谢谢 。另:本人水平不高,问题也很粗浅,大牛请勿鄙视...
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samsara20071214

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-08-16 17:50:08
唐重鑫(金币+8): 回答的很清楚,非常感谢。 2011-08-17 11:02:29
1,重新极化要注意极性,一般是电源正极和pzt的正极连接,负极与负极相连。如果接反了,那么将使畴反向偏转,从而降低压电性能。有一种情况是外加电压非常高,高到使电畴反向偏转,是剩余极化强度为0后,能继续反向偏转,使具有反方向的强压电效应,这个可以从电滞回线上获得解释。
2,一般是缓慢的加电压。
3,可能是电压过高,pzt已经被击穿而没有发现。极性反了这种情况好象比较不可靠。
4,同一批材料性能差别很大,是可能的,受材料均匀性以及气孔的不均匀分布影响,气孔过多,易被击穿。
5,如果你想验证研磨后材料性能又没有降低,只需要重新测试性能就好了,有降低的可以重新极化,这样可减少工序,降低成本。根据我的经验,一般来说,研磨不会对性能造成太大的影响。
WorkHardandHappyEveryday!
7楼2011-08-16 14:48:33
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七月二十五

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖


Missile521(金币+1): 鼓励交流~ 2011-08-11 14:41:42
唐重鑫(金币+2): 谢谢啦,人品好~ 2011-08-11 20:25:14
在学校里看到他们极化是放在硅油中,大概是120摄氏度
还有你的接法可能是反了,50V电压极化性能没有下降,而100~200V电压极化没有击穿性能下降,是否可以理解为50V极化电压较低,未导致原来极化的电畴反向,因此没有引起性能下降,而100~200V极化电压较高,导致了部分电畴转向而使性能下降呢?
说明一下,我也不是太懂,只是一点想法而已
2楼2011-08-11 14:27:49
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七月二十五

木虫 (正式写手)

★ ★
zhangquan8385(金币+2): 鼓励交流 2011-08-12 19:54:26
呵呵,你的心意我领了,谢谢!
在网上搜到一篇文献《PZT压电陶瓷极化工艺研究 》毛剑波,压电与声光,第28卷第6期,2006年。你可以看一下。通过这个贴子直接上传不了,很容易搜到的。
祝顺利!
5楼2011-08-12 10:14:49
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samsara20071214

铁杆木虫 (正式写手)


Missile521(金币+1): 再次奖励,学习了!!! 2011-08-22 16:05:16
1,你说的这种情况很有可能,机械切割有崩边的现象,边缘处出现缺陷,很容易造成表面放电,提高漏电流。
2,极化的目的是使畴偏转,达到饱和极化强度,高压下畴偏转很快,考虑到高压下pzt容易被击穿,一般是降低极化电压,延长极化时间和提高极化温度,温度高可促进畴的偏转。在硅油中极化还是空气极化视极化电压而定,极化电压较高时,可能击穿空气,造成表面放电,从而损坏样品,此时一般采用硅油极化。
3,通常来讲,击穿的时候漏电流会很大,此时极化装置会自动断开,按照你的描述,那么就只能是极性的问题了,这个建议你仔细检查连接方式。 这个问题比较奇怪,难以解释。
4,极化后放置24h的目的是消除内应力,使材料稳定。极化过程中畴在外电场作用下偏转,产生内应力,撤去外电场后,在内应力作用下,畴会有一定程度的反转,对比极化后立即测试的数据和极化24h后测试的数据,会发现前者d33会高点。

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WorkHardandHappyEveryday!
9楼2011-08-17 16:50:10
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普通回帖

唐重鑫

铜虫 (小有名气)

送鲜花一朵
我们的器件放到硅油中极化的话,不太好清理,又怕麻烦,所以就直接空气中极化了。极化的时候,pzt的正极该接电源的正还是负啊?你说的接反的情况,我也曾经怀疑过,不过我们的pzt才20um,用200v电压来极化的话,是10000V/mm了,应该可以充分极化才对,不太可能只是部分电筹转向啊。
谢谢您的回复啦,让我感到春天般的温暖~~,我也没啥金币,送您小红花一朵,略表心意。
3楼2011-08-11 20:21:46
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唐重鑫

铜虫 (小有名气)

晕,借人家账号上的,不太懂论坛规则,送给沙发的小红花怎么送给自己了...
4楼2011-08-11 20:23:51
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唐重鑫

铜虫 (小有名气)

搜了看了,有不少帮助
6楼2011-08-12 16:14:49
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唐重鑫

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
7楼: Originally posted by samsara20071214 at 2011-08-16 14:48:33:
1,重新极化要注意极性,一般是电源正极和pzt的正极连接,负极与负极相连。如果接反了,那么将使畴反向偏转,从而降低压电性能。有一种情况是外加电压非常高,高到使电畴反向偏转,是剩余极化强度为0后,能继续反 ...

大牛,非常感谢!还有几个问题想请教一下,
(1)购买的两边被银的pzt片,80um厚,我们把它切成1cm X 2cm的块,做成悬臂梁。我们用50V极化测试的时候,有的电流几乎为零,能成功极化。有的电流却能达到0.5mA,这种情况,我怀疑是不是由于切割pzt的时候,在pzt边缘有塌陷,导致上下电极太近,或者有些银粉粘到边缘上,导致上下绝缘不好。不知道这种看法对不对,不然80u的pzt加个50V的电压,怎么看都不可能击穿,漏电流也不会这么大啊。
(2)通常这种极化需要多长时间?我看文献上很多说15分钟,但是又有人说他们极化只要点一下,几秒钟即可,还有就是,这么低电压的极化,需要加热和在硅油中么。
(3)“可能是电压过高,pzt已经被击穿而没有发现”,极化的时候,我看了电流,一直少于0.1mA,耐压测试仪我们设置的报警电流是2mA。如果击穿的话,电流不会变很大么?
(4)极化后,需要放置24小时候再测试,目的是啥啊?需要正负极接通放电么?如果当时就测试,会使极化性能变弱吗?
呵呵,新手,问题有点多,希望大牛多指点。谢谢。

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8楼2011-08-17 11:21:56
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唐重鑫

铜虫 (小有名气)

送鲜花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by samsara20071214 at 2011-08-17 16:50:10:
1,你说的这种情况很有可能,机械切割有崩边的现象,边缘处出现缺陷,很容易造成表面放电,提高漏电流。
2,极化的目的是使畴偏转,达到饱和极化强度,高压下畴偏转很快,考虑到高压下pzt容易被击穿,一般是降低 ...

嗯,受益匪浅,谢谢啦。如果再碰到什么问题,再向您请教啦
10楼2011-08-19 15:15:25
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