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压电陶瓷极化碰到的问题【求助】
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情况是这样：我们用压电陶瓷pzt块材减薄，到20um左右，粘到硅片上，分割，做成悬臂梁，震动测试，有输出电压，pzt买来就是已经极化过的。我们担心块材减薄的研磨过程，会减弱pzt的压电性能，就想再把pzt重新极化一下，常温空气中，用的仪器是长盛的耐压测试仪。碰到几个问题。 1.本来已经极化过的，再极化，需要按照之前的正负方向极化吗？还有就是pzt的正负极是啥意思，极化的时候是电源正极接pzt的正，还是要反过来？ 2.极化电压是一下升上去，还是缓慢线性的升上去，还是分段的跳上去，哪样好？ 3.我们用100V-200V电压试过，电源正接pzt正的模式，电压线性缓慢上升，极化15分钟。极化后再测试，输出电压反而下降的很厉害，由300mV降到50mV左右。为什么性能会下降？按照我以前的理解，极化电压提高的话，顶多pzt性能不再提高，有可能下降么？ 4. 同一批的悬臂梁，有的50V就击穿了，有的200V还好的很，怎么差别那么大呢？ 我们现在用50v电压极化了几个，性能没有下降，是不是说明100-200V极化电压太高了？ 本人不是学材料的，对极化也没什么研究，实验碰到诸多难题，导致身心憔悴，夜不能寐啊。身边也没有搞压电材料的人，求助无门。现在来小木虫求教，希望懂的大牛指点一下，不胜感激，有任何一点建议或想法的，随口说两句也行，都会对我很有帮助的，谢谢 。另：本人水平不高，问题也很粗浅，大牛请勿鄙视... |
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samsara20071214
铁杆木虫 (正式写手)
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【答案】应助回帖
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Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-08-16 17:50:08
唐重鑫(金币+8): 回答的很清楚，非常感谢。 2011-08-17 11:02:29
Missile521(金币+1): 鼓励回帖交流~ 2011-08-16 17:50:08
唐重鑫(金币+8): 回答的很清楚，非常感谢。 2011-08-17 11:02:29
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1，重新极化要注意极性，一般是电源正极和pzt的正极连接，负极与负极相连。如果接反了，那么将使畴反向偏转，从而降低压电性能。有一种情况是外加电压非常高，高到使电畴反向偏转，是剩余极化强度为0后，能继续反向偏转，使具有反方向的强压电效应，这个可以从电滞回线上获得解释。 2，一般是缓慢的加电压。 3，可能是电压过高，pzt已经被击穿而没有发现。极性反了这种情况好象比较不可靠。 4，同一批材料性能差别很大，是可能的，受材料均匀性以及气孔的不均匀分布影响，气孔过多，易被击穿。 5，如果你想验证研磨后材料性能又没有降低，只需要重新测试性能就好了，有降低的可以重新极化，这样可减少工序，降低成本。根据我的经验，一般来说，研磨不会对性能造成太大的影响。 |
7楼2011-08-16 14:48:33
七月二十五
木虫 (正式写手)
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