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用什么测试手段能定量分析硼(B)元素,请高手指点
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yymatmuchong
银虫
(小有名气)
应助: 0
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金币: 126
帖子: 80
在线: 27.1小时
虫号: 1315044
注册: 2011-06-04
性别: GG
专业: 半导体材料
[
求助
]
用什么测试手段能定量分析硼(B)元素,请高手指点
已有3人参与
B和B2O3的混合薄膜,用测控溅射制备,厚度大概200nm左右,请这方面的前辈指点测试方法,以使用EDS无法测得B的含量。
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1楼
2014-02-27 10:01:49
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专业: 半导体晶体与薄膜材料
【答案】应助回帖
★
感谢参与,应助指数 +1
穿越千年: 欢迎来本版交流
2014-02-27 16:03:12
yymatmuchong: 金币+1,
★
有帮助
2014-05-09 15:08:32
SIMS可以试试哦。。没准可以
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奋斗。。。
2楼
2014-02-27 10:53:22
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引用回帖:
5楼
:
Originally posted by
yymatmuchong
at 2014-03-04 10:50:42
上海地区有可以做此类测试的吗?...
有的。我们就在埃文斯测试的。不过有点贵。你可以问问。
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奋斗。。。
6楼
2014-03-04 22:31:08
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