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miaobotong

铜虫 (小有名气)


[交流] 请教一下,合金薄膜的XRD没有峰是怎么回事?

请问在什么情况下,XRD没有峰?为何我磁控溅射的合金薄膜没有峰呢?麻烦哪位帮忙解释一下,谢谢!
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Apple.D.

金虫 (正式写手)



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XRD不能用于测量非晶态的薄膜,你的合金薄膜如果是非晶态,XRD就测不到峰了
2楼2014-01-23 11:43:29
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bryano

木虫 (正式写手)



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对比块材呢?上对比图先。
3楼2014-01-23 14:36:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)



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估计是薄膜的结晶度极差,是非晶,故没有衍射峰。
4楼2014-01-23 21:13:46
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cheyusi

金虫 (小有名气)



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检查您的溅射条件,如真空度、电压、时间等有无问题。
5楼2014-01-30 09:34:32
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miaobotong

铜虫 (小有名气)


引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-01-23 11:43:29
XRD不能用于测量非晶态的薄膜,你的合金薄膜如果是非晶态,XRD就测不到峰了

谢谢,请问对于非晶薄膜,要如何测量?
6楼2014-02-07 13:41:09
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Apple.D.

金虫 (正式写手)



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引用回帖:
6楼: Originally posted by miaobotong at 2014-02-07 13:41:09
谢谢,请问对于非晶薄膜,要如何测量?...

如果你只是要测元素的话可以用EDS。
7楼2014-02-07 17:18:43
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qwcmos

铜虫 (小有名气)



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非晶,或者是你的XRD不能做薄膜样品,用专业做薄膜的XRD,掠入射模式。
8楼2014-02-19 09:39:47
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