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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

[求助] 3um的铜怎么弄? 已有6人参与

3um的铜怎么弄?对表面晶粒要求较高,镀的不行,溅射太厚,求支招
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


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感谢参与,应助指数 +1
这个确实尴尬。
蒸发倒是不太在乎Cu的厚度,几个微米不是啥问题,表面质量也好。但是找到合适的机器比较麻烦,否则就太贵了。
3楼2014-01-23 13:38:29
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
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xiaoliu0140: 金币+3, 有帮助 2014-02-12 09:45:25
用磁控溅射应该没问题的,如果担心控制不好,可以用射频溅射,厚度比较容易控制,且3um很厚了。
2楼2014-01-23 11:00:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
溅射的怎么就太厚了呢?是没有调整好参数吧。很多磁控溅射工艺溅镀几十或几百纳米金属薄膜都无问题。
4楼2014-01-23 19:31:13
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ping10nkc

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

看你的基材是什么,现在的微电铸基本都是可以镀上去的,表面质量也没问题。
磁控工艺成熟的,你没控制好工艺,
蒸镀呢,可行吗、。
5楼2014-01-26 13:49:15
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wang2005054

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

看你设备怎么样了,还有参数设定!一般情况下,3um真心够厚,用溅射应该能搞定,你再试试!
6楼2014-01-26 16:10:47
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
xiaoliu0140: 金币+2, 有帮助 2014-02-12 09:47:42
电镀可以,你配好抑制剂就行了,先镀完,还可以抛光,磨平。很快的。氯气就行。
哈哈哈哈,来吧
7楼2014-01-28 14:55:16
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xiaoliu0140

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Apple.D. at 2014-01-23 11:00:30
用磁控溅射应该没问题的,如果担心控制不好,可以用射频溅射,厚度比较容易控制,且3um很厚了。

工艺间里的机器溅射铜的速率是76埃每min,3um算下来得6个多小时
8楼2014-02-12 10:01:47
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

蒸发能快一点
9楼2014-02-12 12:28:56
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Apple.D.

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by xiaoliu0140 at 2014-02-12 10:01:47
工艺间里的机器溅射铜的速率是76埃每min,3um算下来得6个多小时...

仪器不同,速率不同,且功率、衬底温度、Ar气流量、真空度都会影响速率,你可以用直流溅射,速率会提高很多。
10楼2014-02-12 13:01:14
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